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图中显示在G band及D band位置所产生的拉曼散射强度以G band较强，意味SP²键结较SP³多。

图1:Me-DLC之Raman光谱

2.2硬度及附着性

含金属类钻膜的硬度随含金属量的不同而变化，从Hv1200～2300。物理蒸镀镀膜附着性一般使用刮痕试验及压痕试验来测量，图2为含金属类钻镀膜之刮痕试验结果，镀膜之附着力达70N以上；相片2为镀膜压痕试验之观察，在压痕周围有微小裂痕，属HF2之等级，显示镀膜有良好的附着性。

图2:含金属类钻碳膜之刮痕试验结果

相片2：为镀膜压痕试验之观察

2.3摩擦系数与磨耗性

含金属类钻碳膜最大的特性是具有低摩擦系数，可在使用过程降低工件的摩擦阻力，研究采用Pin-on-Disk磨耗试验机在：荷重10N、滑移速率0.3m/s、滑移距离1000m下进行测试，图3为不同镀膜以铜合金为磨耗对手材在滑移1000m后所得之平均摩擦系数，图4则以不锈钢为磨耗对手材所得之平均摩擦系数，可知Me-DLC的摩擦系数均维持在约0.15附近，而其余镀膜则在0.6以上，显示Me-DLC较其它镀膜具有极低的摩擦系数，量测其体积磨耗比均在1x10^-15m³/Nm以下，可知相当具有耐磨耗性；其余硬质膜(TiN、TiCN、CrN、CRCN)则均有产生沾黏现象。

图3为不同镀膜以铜合金为磨耗对手材在滑移1000m后所得之平均摩擦系数

图4为不同镀膜以不锈钢为磨耗对手材在滑移1000m后所得之平均摩擦系数